1142_半导体材料及元件_359801
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课程介绍

课程资源

  • CH1-introduction
  • CH3-Semiconductor-I-Physics-1
  • CH3-Semiconductor-II-devices
  • CH4-Si-manufaturing
  • CH10-CVD-EPI
  • CH6-Photolithography
  • CH7-plasma
  • CH6-Photolithography-2026
  • CH9-etch_2026
  • CH11-Metal
  • CH12-CMP
教师 / 洪英傑

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